以国产CMP供液设备,助力济南先进制造业强基补链 | 双创大赛人才专访
新黄河  2025年11月07日

新黄河记者:张成地  

“今天带着‘半导体芯片制造核心工艺——CMP化学研磨液供给SDS设备研发与产业化’项目,站上第八届中国(济南)新动能创新创业大赛决赛舞台,内心满是使命感与期待。”逆时针芯片科技(大连)有限公司总经理吴宏伟表示,他们的项目与济南市“先进制造业强市”的战略布局高度契合,产业同频让我们对落地济南充满信心。

吴宏伟介绍,他们的项目致力于国产高端半导体制程设备的技术突破,专注于研发“半导体芯片制造核心工艺——CMP化学研磨液供给国产化设备研发与产业化项目(SDS)”。该设备应用于CMP工艺核心环节,通过自主创新提出灵活双桶冗余供液架构,融合PID智能控制、模块化混料设计及在线粒径/pH监测等核心技术,提升设备稳定性与自动化水平。目前已在头部晶圆厂中试运行成功。

吴宏伟之所以格外看重济南,正是因为这里扎实的产业基础和清晰的战略方向。济南作为先进制造业强市,集成电路产业链上下游配套完善,对高端半导体装备的需求旺盛,而吴宏伟的SDS设备能为本地芯片制造企业提供关键支撑,还能带动上下游相关产业发展,形成协同效应。“对我们来说,这次大赛不只是一个展示项目的平台,更是寻找落地机遇、对接政策性扶持的重要契机。”吴宏伟说,“我们希望通过大赛让更多人了解国产半导体装备的突破,更能借助济南的产业生态和政策支持,加快项目产业化进程。”

未来,吴宏伟计划以济南为重要基地,进一步推进SDS设备的规模化生产和市场推广。一方面,为本地的晶圆厂提供高性价比的国产替代方案,帮企业降低生产成本、保障供应链安全;另一方面,依托济南的产业资源和创新氛围,持续迭代技术,攻克更多半导体装备领域的“卡脖子”难题。“我们相信,在济南,我们的国产CMP供液设备能快速扎根成长,不仅能实现企业自身的发展,更能为济南的集成电路产业补链强链。”吴宏伟说。

编辑:刘玉红  摄影:梁明星  校对:汤琪