近日，记者走进安徽博芯微半导体科技有限公司百级、千级净化生产车间看到，机械加工、精密检测、特种焊接、表面处理各条生产线有序运转，设备高速运行、数据实时跳动，Showerhead（喷淋头/匀气盘/气体分配盘）等半导体设备精密构件经多道工序逐一下线。

“Showerhead，是薄膜沉积设备中让工艺气体均匀分布到晶圆表面的核心半导体设备零部件，其精度与洁净度直接影响薄膜均匀性和芯片良率，适配各类主流设备、可服务先进制程生产。”该公司制造二部部长吴志君说，目前企业订单已排至12月底，今年产值预计达9000万元，同比增长约50%，90多名员工正坚守一线赶订单、忙生产。

安徽博芯微半导体科技有限公司2024年落地义安经开区，注册资本3亿元，专注半导体设备核心零部件研发制造，已建成覆盖机械加工、精密检测、特种焊接、表面处理的全流程工艺体系，实现核心零部件全链路国产化生产。

安徽博芯微半导体科技有限公司的忙碌，是义安经开区半导体产业链加速成型的缩影。这条链起步于2017年——依托与Ferrotec（中国）集团全方位合作，富乐德TFT洗净、陶瓷熔射项目率先落户，填补义安区半导体产业空白。此后富乐德年产180万枚晶圆再生、博芯微匀气盘等核心项目相继建成，产业链从服务端向半导体设备零部件制造端延伸，同时与中芯国际、合肥长鑫等上下游企业建立联系，同步建成省级企业技术中心、省级数字化车间等创新平台。

沿链布局，集群渐成。义安区富优特科技生产的碳纤维/聚酰亚胺基复合材料主要服务硅晶圆制造行业，是大规模硅材料生长炉设备核心材料供应商；轻蜓光电专注尖端半导体光学量检测设备，已在先进封装、晶圆制造等领域实现核心设备量产销售，产品替代科磊、应用材料等国际厂商同类产品。截至目前，义安经开区核心区集聚半导体企业7家，今年1至9月完成工业产值8.7亿元，初步形成增值服务、精密检测、设备零部件、电子基材等细分领域集群。

车间内安徽博芯微生产线高速运转，车间外半导体产业链加速成型。从一枚匀气盘到一条半导体细分产业链，从2017年填补空白到如今7家企业串珠成链，义安区的实践说明：发展半导体产业并非只有芯片制造一条路，在半导体设备零部件配套端、服务端做深做透，攻坚国产替代、服务先进制程需求，同样能形成特色竞争力。下一步，义安区将继续围绕龙头企业和重点环节补链强链，推动“物理集聚”转化为“化学协同”。（万伦　王复磊/文　梅建广/图）