新黄河记者：黄敏  

集成电路产业是济南重点布局的产业之一。3月13日，在市政府新闻办召开的“项目赋能强省会”济南市企业家系列记者见面会上，济南市艾恩半导体科技有限公司董事长钟新华表示，艾恩半导体离子注入机设备在数据获取方面，比同行业产品高出几十倍，单台设备每小时获取的数据量大约在1G左右，处于行业领先水平。

新技术推广应用，要选对赛道、与时间赛跑

作为一家致力于实现半导体制造离子注入环节国产替代的企业，2024年，艾恩半导体将总部从广州迁到济南。“当初之所以选择落地济南，正是看中了这里正在崛起的集成电路产业生态。”钟新华说。

钟新华的职业生涯主要围绕集成电路重大装备和光伏装备的研发与产业化展开，承担过国家重大专项、总装型谱项目、国家“863”项目、重大科技创新项目、载人航天项目。这些经历让他深刻体会到，核心技术是买不来的，必须靠自己一点点啃下来。

这些年，他一直在推动离子注入机的产业化进程。从艾恩半导体成立到做出第一件产品，仅用了8个月。

对于新技术的推广应用，钟新华认为，首先是选对赛道。企业没有一上来就去和国际巨头在硅基主流市场硬碰硬，而是选择以碳化硅离子注入机作为突破口。同时还要速度优先。“对我们这样的初创公司来说，机遇只有一次，如果抓不住当前机遇，就将面临生死。对于大企业，一件事情可以干上10年、20年，看不到成果但还可以继续。给我们的时间哪怕一年、两年都有点难。因此，我们就得快，与时间赛跑。”

该企业产品数智化优势明显。离子注入机是一个极为复杂的系统，涉及近2万个零部件。为了提高设备的自动化与智能化水平，首先要能够获取设备的实时状态数据。钟新华介绍，目前该企业设备在数据获取方面，比同行业产品高出几十倍，单台设备每小时获取的数据量大约在1G左右，无论是数据采集的点位数量还是采样频次，都处于行业领先水平。

“获取大量数据后，关键是要能够很好地利用这些数据。我们将其用于设备的实时检测与控制、故障诊断与处理、自动调束功能，以及后续的优化与迭代。这极大地提升了设备的自动化与智能化水平。”钟新华说。

力争三年内实现离子注入机所有机型全覆盖

当前，第三代半导体迎来黄金发展期。根据行业数据，2024年中国离子注入机市场规模已达121.26亿元，国产化率却不足10%。

面对这片蓝海，艾恩半导体正构建自身发展优势，努力实现产品矩阵全覆盖。 目前，其第一代碳化硅离子注入机已在客户端验证，今年1月推出了硅基中束流离子注入机，预计9月份推出大束流机型。该企业力争三年内实现离子注入机所有机型全覆盖，从碳化硅向硅基延伸，从6寸到8寸再到12寸全面覆盖。

技术指标是硬道理。在设备性能方面，艾恩半导体努力对标国际领先。 其已经在长寿命离子源技术上达到国内先进水平，正在研发的第二代碳化硅离子注入机将实现对标国际巨头的性能突破。就设备价格而言，艾恩半导体能做到进口同类装备的50%左右，为客户大幅降低资本开支。

国外巨头虽然产品成熟，但服务响应慢、定制化程度低。艾恩半导体正以服务构建“护城河”，发挥本土企业的优势，与客户深度绑定，针对特殊工艺做定制化开发，构建“贴身服务+快速响应”的能力。

“我们将用全系列产品卡位市场，用硬核指标证明实力，用极致服务黏住客户。”钟新华说。

谈及未来发展，钟新华表示，在济南打造集成电路产业高地的进程中，希望扮演好产业链的“补链者”、上下游的“连接器”、产业集群的“磁石”。对于未来，企业有一个愿景：让世界看到，高端离子注入机不仅能够“中国造”，更能够“山东造”。“我们将扎根济南，与上下游伙伴一道，把山东的第三代半导体产业链做强做大，为我国半导体设备自主可控贡献一份力量。”

编辑：刘雨  校对：汤琪