“异质异构集成微系统全国重点实验室是继华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线之后，又一项为蚌埠智能传感产业提供基础支撑的重要平台。”5月31日，第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会在蚌埠开幕，异质异构集成微系统全国重点实验室现场正式揭牌，并面向社会发布了10项重大原创科技成果。

　　“10项成果全部为实验室自主研发，拥有完整自主知识产权，构建起从基础工艺到核心产品再到系统集成的完整自主创新链条。”实验室相关负责人告诉记者，其中3套原创MEMS工艺技术为国内首次实现量产化应用，一举解决了长期困扰我国高端MEMS制造领域的技术难题；7款创新产品瞄准进口依赖的关键领域，部分指标国际领跑，有效填补了国内高端传感与集成微系统领域的技术空白。

　　而在距离大会会场不足10公里的中国传感谷里，另一场凿穿技术壁垒的攻坚战也在同步推进。

　　“高精度谐振式压力传感器精度高达万分之一，宽温区温度传感器可覆盖-200℃至+1600℃超宽温区，性能达到国际先进水平。”安徽北方华鑫智感科技有限公司负责人介绍，曾几何时，高端传感器领域几乎被国外垄断，华鑫智感专挑“卡脖子”难题下手，组建专项研发团队持续攻坚，成功突破高精度压力传感器、高可靠电流/电压传感器、高分辨率气体传感器等关键技术。

　　技术突破只是第一步，推动科技创新与产业创新深度融合才是关键。

　　在工业领域，华鑫智感聚焦压力传感器，9款产品通过防爆认证；在汽车电子赛道，真空压力传感器、氧传感器等爆款产品已配套国内重点车企客户；在储能与轨道交通领域，储能电池包热失控安全监测预警系统可实现提前14分钟预警；在电力传感领域，多物理量传感器、电流传感器等产品，解决了新型电力系统微型化、高精度、抗干扰的痛点。

　　科研人员在攻关，企业在奔跑，政府则在托举。

　　此次大会现场发布蚌埠市首轮MEMS工程流片券政策，符合相关条件的企业申领流片券后，最高可按其流片费用的50%获得补助，每家企业每年获得的补助总额最高可达500万元。

　　蚌埠市科技局副局长闻建忠告诉记者，MEMS工程流片是智能传感芯片从设计走向量产的关键环节，此项举措可帮助更多初创团队和中小企业打通科技创新“最后一公里”。

　　从实验室的原创突破，到生产线的工艺自主，再到流片券的制度创新——蚌埠正以一套环环相扣的“组合拳”，跑出一场从底层技术到产业生态的全面突围。（强飞）

　　编辑：王晓冬